Skupne značilnosti strojev za vakuumsko posrebrenje in magnetronsko nanašanje
Pustite sporočilo
Skupne značilnosti strojev za vakuumsko posrebrenje in magnetronsko nanašanje
Magnetronsko razprševanje magnetronskega premaznega stroja ima različne principe delovanja in predmete uporabe. Vsem pa je skupno eno: medsebojno delovanje magnetnega in električnega polja povzroči, da se elektroni spiralno vrtijo okoli ciljne površine, kar poveča možnost, da elektroni zadenejo argon in ustvarijo ione. Ustvarjeni ioni trčijo ob površino tarče pod delovanjem električnega polja in s tem razpršijo tarčo.
Ciljni vir magnetronskega premaznega stroja lahko razdelimo na uravnotežen tip in neuravnotežen tip. Uravnotežena prevleka ciljnega vira je enakomerna, neuravnotežena tarčna prevleka pa ima močan oprijem na podlago. Uravnoteženi ciljni viri se večinoma uporabljajo za polprevodniške optične filme, neuravnoteženi ciljni viri pa se večinoma uporabljajo za nošenje dekorativnih filmov. Magnetronske katode lahko v grobem razdelimo na uravnotežene in neuravnotežene magnetronske katode glede na različne konfiguracije magnetnega polja. Magnetni pretok magnetnega jekla znotraj in zunaj katode uravnoteženega magnetrona je približno enak, dvopolne magnetne silnice pa so zaprte na ciljni površini, kar lahko omeji elektrone/plazmo blizu ciljne površine, poveča verjetnost trčenja in izboljšati učinkovitost ionizacije.
Vakuumsko posrebrenje Vsak sistem lahko opravlja drugačno funkcijo
Celoten stroj za vakuumsko nanašanje z magnetronskim brizganjem je sestavljen iz več delov, vsak sistem lahko opravi različne funkcije in na koncu doseže končno visokokakovostno prevleko. Oprema za magnetronsko naprševanje je sestavljena iz vakuumskih komor, ventilov in sistemov za zajemanje vakuuma. , vakuumski merilni sistem, katodna tarča, električni nadzorni sistem in druge komponente.
Glavno telo naprave za nanašanje magnetronskega naprševanja je vakuumska komora, velikost vakuumske komore pa je določena z velikostjo substrata izdelka in zmogljivostjo uporabnika. Votlina je izdelana iz nerjavečega jekla SUS304, prednost je v tem, da ni enostavno rjaveti, je bolj trpežna od ogljikovega jekla in enostavna za vzdrževanje. Obstaja veliko vrst metod magnetronskega naprševanja, pogosto uporabljena ionska prevleka z več loki, vmesna frekvenčna kontrolna prevleka itd. Prevlečna plast, oblikovana z metodo magnetronskega naprševanja, ima močan oprijem, visoko čistost filma in jo je mogoče napršiti istočasno. čas. material sestavine.
www.superbheater.com
