Razlaga tehnologije kalibracije temperature za termometer v peči za visoko temperaturno žarjenje

Poroča se, da ima visokotemperaturna žarilna peč krmilni sistem z zaprto zanko, sestavljen iz pospešenega digitalnega regulatorja temperature PLD, termočlena, pirometra in vira toplote za pravilen nadzor temperature. S skupnim nadzorom halogenskih žarnic v različnih regijah je mogoče med postopkom nadzora temperature kompenzirati temperaturno razliko v vsaki regiji, pri čemer temperatura različnih regij na substratu ostane nespremenjena. Zaradi svoje namestitve na dnu votline lahko pirometer sprejema samo sevanje z zadnje strani substrata in ne more sprejemati sevanja iz žarnice. Zato lahko pirometer natančno izmeri temperaturo podlage. Načelo temperaturne kalibracije tega pirometra je naslednje:
1. Uvod v pirometer:
Pirometer, predstavljen v tem članku, je optični pirometer s toplotnim sevanjem. Ko pirometer prejme infrardeče sevanje merjenega predmeta, se optični signal filtrira, fotoelektrično pretvori in ojača, da postane analogni signal, ki se nato prenese na modul vezja signalnega vmesnika senzorja. Ta modul izvede A/D pretvorbo signala in ga pretvori v digitalni signal, ki ga lahko prepozna računalnik. Digitalni signal, ki se vrne nazaj v računalnik, se v naslednjem besedilu imenuje povratna vrednost pirometra.
2. Tabela za umerjanje temperature:
V skladu z ustreznimi zakoni je temperatura predmeta povezana z njegovim sevanjem in spektralno emisivnostjo. Pri visokotemperaturnih žarilnih pečeh je količina sevanja, ki ga prejme pirometer, v glavnem odvisna od dejavnikov, kot so material substrata, doping, plast naravnega oksida na površini in temperatura substrata. Za isto vrsto podlage (tj. podlage z enakim materialom, dopingom in površinsko plastjo naravnega oksida) je količina sevanja, ki ga sprejme pirometer, povezana s temperaturo podlage. Zato se za isto vrsto podlage povratna vrednost pirometra ena proti ena ujema s temperaturo podlage. Ta korespondenca predstavlja podatke o temperaturni kalibraciji, tabela temperaturne kalibracije pa se uporablja za shranjevanje podatkov o razmerju med več temperaturami podlage in povratnimi vrednostmi iz pirometra. Različnim temperaturam ustrezajo različne povratne vrednosti pirometra. Računalnik visokotemperaturne peči za žarjenje lahko izračuna dejansko temperaturo substrata na podlagi povratne informacije o vrednosti signala iz pirometra in tabele za umerjanje temperature.