Potem ko so zapleteni vzorci vezja vgravirani v silikonsko rezino, je treba zaščitno fotoodporno masko-plast trdnega, navzkrižno{1}}povezanega polimera-popolnoma in čisto odstraniti. To se doseže v vroči kopeli močnih, agresivnih organskih topil, pogosto segretih na več kot sto stopinj Celzija. Potopni grelnik v tej hlapljivi, jedki kemiji mora biti izdelan iz materiala, ki ga topila ne morejo raztopiti, nabrekniti ali onesnažiti. PTFE je tisti kemično tih, inerten material.

Vloga PTFE grelnikov pri odstranjevanju fotorezista

Kopel za odstranjevanje je običajno sestavljena iz mešanice topil, kot so N-metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sulfoksid (DMSO) in močni alkalni amini, segretih na 80–110 stopinj. PTFE potopni grelnik je standardna izbira za to aplikacijo. Njegov kemično inerten ovoj je popolnoma odporen na agresivna topila, ki bi sicer napadla standardno plastiko in razjedala kovine.

PTFE grelnik zagotavlja čisto, stabilno in natančno toploto brez sproščanja kovinskih ionov ali drugih onesnaževal, ki bi se lahko naložili na neokrnjeno površino rezin. Ne- gladka površina iz PTFE, ki se ne sprijema, se upira kopičenju raztopljenih ostankov fotorezista in ohranja popolnoma čisto grelno površino med ponavljajočimi se cikli. Postopek odstranjevanja rezin s fotorezistom iz PTFE grelnika zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature in zmanjša lokalno vrenje ali udarce, ki bi lahko motilo občutljive rezine.

"PTFE grelec je kemično tih, vroč prst v kopeli močnih topil, ki odstranjuje masko, ne da bi za seboj pustil edino sled, hkrati pa ohranja rezino nedotaknjeno in električno brezhibno."

Varnostni vidiki

Mešanica topil je vnetljiva, strupena in pogosto deluje blizu vrelišča. Ustrezna zasnova rezervoarja, vključno z zaprtimi ohišji, ozemljitvijo in prezračevanjem, je obvezna za preprečevanje nevarnosti požara, hlapov ali elektrostatične nevarnosti. Konzervativne gostote vatov so potrebne za vzdrževanje nadzorovanega ogrevanja in preprečevanje udarca topila ali lokalnega pregrevanja na PTFE plašču.

Operativne prednosti

Uporaba PTFE grelnikov v tem procesu omogoča:

Kemična odpornost na agresivne mešanice topil.

Vzdrževanje absolutne čistoče rezin in električne celovitosti.

Dolgotrajna-zanesljivost brez korozije ali degradacije.

Enakomerno segrevanje-brez ostankov je kritično za-izdelavo polprevodnikov z visokim izkoristkom.

Zaključek

PTFE potopni grelnik je kritičen, kemično odporen vir toplote, ki omogoča čisto, popolno odstranjevanje fotorezista z rezin pri izdelavi polprevodnikov. Z zagotavljanjem stabilne toplote brez-kontaminantov v zelo agresivni kopeli s topilom PTFE grelec zagotavlja atomsko čistost, ki je bistvena za sodobno mikroelektroniko. Popolna, brezhibna površina računalniškega čipa je dosežena s kombinacijo kemične agresije in inertnega, zanesljivega ogrevanja.