Kako se silikonski grelniki uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov?
Pustite sporočilo
V sistemu proizvodnje polprevodnikov imajo silikonski grelniki več kot eno ključno uporabo:
V fazi obdelave rezin lahko silikonski grelniki ustrezno manipulirajo s temperaturo segrevanja, kar omogoča pridobivanje tehnik, ki vključujejo nanašanje s kemično paro (CVD) in nanašanje s telesno paro (PVD) na površini rezin. Na primer, posebna temperaturna manipulacija je pomembna za visoko zadovoljivo in enakomernost nanesene plasti na neki stopnji v sistemu CVD.
V tehnologiji polprevodniške embalaže se lahko uporabljajo silikonski grelci za segrevanje in strjevanje embalažnih materialov, s čimer se zagotovi zanesljivost in uravnoteženost embalaže.
Za polprevodnike, ki preizkušajo pripomoček, lahko silikonski grelniki nudijo visoko temperaturno okolje, da zagotovijo točnost in doslednost rezultatov preverjanja.
V nekaterih napravah za proizvodnjo polprevodnikov, pri katerih je potrebno ogrevanje v bližini, je mogoče silikonske grelnike zaradi njihove upogljive oblike in prilagodljivosti dolžine brez težav priključiti na edinstvena mesta, da pridobijo posebno ogrevanje.
Na primer, v vrhunskih tovarnah za proizvodnjo rezin so po meri oblikovani silikonski grelniki priključeni v edinstvene sistemske komore, da izpolnijo izjemno stroge zahteve glede temperature; V proizvodni liniji polprevodniške embalaže so silikonski grelniki vgrajeni v utrjevalni pripomoček, da zagotovijo, da se embalažno lepilo hitro strdi pri ustrezni temperaturi.








