Kako se silikonski grelniki uporabljajo pri obdelavi polprevodniških rezin?

Silikonski grelci imajo številne kritične programe pri obdelavi polprevodniških rezin.
Prvič, v številnih vrstah izdelave rezin, vključno s postopki žarjenja in difuzije, se za edinstven nadzor temperature uporabljajo silikonski grelci. Ohranjanje določene in enakomerne temperature je pomembno za doseganje vrhunske učinkovitosti tkanine in orodja. Silikonski grelniki lahko nudijo pravilno in trdno ogrevanje, sestavljanje tistih strogih temperaturnih zahtev. Na primer, med žarjenjem se rezina želi segreti, da se zmanjša pritisk in poveča kristalna struktura. V tem času lahko silikonski grelec poskrbi, da se temperatura natančno upravlja v majhnem obsegu, kar preprečuje neugodne posledice na veliki rezini.
Silikonski grelniki so zelo upogljivi glede konfiguracije in postavitve. Oblikovani so lahko po meri in vključeni v obdelovalno napravo, da nudijo centralno ogrevanje za edinstvena področja rezine. To je predvsem koristno pri nekaj postopkih, ki zahtevajo bližnje ogrevanje, vključno z zanesljivimi koraki fotolitografije.
Poleg tega prispevajo k prenosu zelene toplote. Odlična toplotna prevodnost silikona omogoča hitro in enakomerno porazdelitev toplote na površini rezin, kar zmanjšuje temperaturne gradiente in izboljša konsistenco načina. Na primer, znotraj načina kemičnega naparjevanja (CVD) se na rezino želi nanesti tanka folija, enakomerna temperatura, ki jo zagotavlja silikonski grelec, pa lahko zagotovi enakomernost in odličnost nanesene folije.
Poleg tega so lahko silikonski grelniki zasnovani tako, da se spoprimejo s težkim okoljem obdelave v proizvodnji polprevodnikov, ki je običajno sestavljeno iz oglaševanja številnih kemičnih spojin in pretiranih vakuumskih pogojev.