Kako določiti grelno ploščo z visoko-temperaturo, nizko-toplotno-razteznostjo iz invarja?
Pustite sporočilo
Popolnoma jeklena grelna plošča se znatno razširi s temperaturo in postopoma spreminja dimenzije površine, ki opravlja delo. V številnih aplikacijah industrijskega ogrevanja to gibanje ni pomembno. Vendar pa pri ultra-natančnih postopkih, kot so nanotiskalna litografija, natančno optično oblikovanje, lepljenje polprevodnikov in visoko{3}}natančno oblikovanje kompozitov, toplotna ekspanzija postane ključni vir dimenzijske napake. Odgovor je, da pritrdite tanek film Invarja - nikljeve-železove zlitine z zelo nizkim koeficientom toplotnega raztezanja - na delovno površino plošče, s čimer ustvarite kompozitno toplotno strukturo, ki je zelo dimenzijsko stabilna tudi pri delovanju pri povišani temperaturi.
Specifikacija ogrevalne plošče čelne plošče Invar razlikuje dobro zmogljivost ogrevanja od dimenzijske natančnosti v sodobnem termičnem orodju.
Učinki toplotnega raztezanja v preciznih ploščah
Težava s tradicionalnimi jeklenimi površinami
Tipične plošče iz jekla in nerjavečega jekla se pri segrevanju močno razširijo. Celo blage delovne temperature lahko privedejo do zaznavnega dimenzijskega premika na velikih delovnih površinah.
Možne posledice vključujejo:
Zvijanje oblikovanih elementov
Neusklajenost natančnih orodij
Deformacija površine optike
Napake pri registraciji
Neenakomerna porazdelitev tlaka
Za aplikacije, merjene v mikronih ali nanometrih, so lahko ta toplotna nihanja nezadovoljiva
Kaj je naredil Invar?
Invar (znan kot FeNi36) je zlitina niklja-železa, ki slovi po svoji posebni lastnosti nizkega koeficienta toplotnega raztezanja (CTE).
Tipične vrednosti toplotnega raztezanja so:
Približni CTE materiala
Invar (FeNi36) ~ 1,2 x 10^-6 / stopinja
Nerjavno jeklo ~10 do 17 × 10-6/ stopinja
To pomeni, da se Invar širi približno-desetino hitrosti običajnih nerjavnih jekel.
Invarjeva koža je dimenzionalno zamrznjen obraz, kovinsko ogledalo, ki je popolnoma mirno in ne upošteva toplote okoli sebe.
Enostavna konstrukcija grelne plošče z invarjem
Oblikovanje kompozitne plošče
Vendar plošča, obrnjena proti invarju, običajno ni v celoti izdelana iz trdnega invarja zaradi stroškov, toplotnega odziva in mehanske praktičnosti. Namesto tega se uporablja kompozitna konstrukcija.
Običajno je sistem sestavljen iz:
Telo, ki obsega ploščo iz konstrukcijskega jekla
Vgrajeni grelniki kartuš
Invar vezan obraz na delovno površino
Precizna strojna obdelava in poliranje zaključnih slojev
Ta arhitektura združuje toplotno zmogljivost in mehansko togost jekla z dimenzijsko stabilnostjo Invarja na bistvenem delovnem vmesniku.
Izbira debeline obrazne plošče invar
Tipične debeline
Obrazna plošča Invar je običajno določena v obsegu:
3 mm in 10 mm debeline
Debelina je odvisna od številnih dejavnikov:
Potrebna togost
Toleranca ravnosti površine
Merila toplotnega odziva
Mehanska obremenitev
Dodatek za brušenje:
Temperaturno območje procesa
Tanjša plošča poveča toplotno reaktivnost, debelejša plošča lahko zagotovi večjo dimenzijsko togost in boljšo odpornost na deformacijo površine.
Tehnike lepljenja za invar obrazno ploščo
Obloga z eksplozijo
Eksplozivna obloga je zelo močna tehnika za pritrditev Invarja na jeklo. Če v nadzorovanem okolju trčite oba materiala pri visoki energiji, se spojita metalurško brez večjega taljenja.
Prednosti vključujejo:
Zelo dobra trdnost spoja
Nizek koeficient toplotnega popačenja
Sposobnost lepljenja velike površine
Dobra utrujenost
Visokotemperaturno vakuumsko spajkanje
Vakuumsko spajkanje je še ena priljubljena metoda, ki se uporablja za visoko zmogljive plošče. Spajanje materialov se izvede z uporabo nodularne zlitine za spajkanje pri visoki temperaturi in v vakuumu.
Prednosti so:
Ustvarjanje enotne linije vezi
Nizka kontaminacija
Dobra toplotna prevodnost
Močna celovitost vmesnika
Oba pristopa sta namenjena ustvarjanju vmesnika z zelo nizko toplotno odpornostjo, hkrati pa ohranjata mehansko vzdržljivost s ponavljajočimi se toplotnimi cikli.
Pomen kakovosti vezi
Diferencialna toplotna napetost
Invar se ne razširi veliko, vendar se jeklena plošča pod njim pri segrevanju močno razširi. To vodi do velike strižne napetosti na meji vezi.
Zato se mora povezovalna linija prilagoditi:
Ponovljeno toplotno kroženje
Diferencialne raztezne sile
Močno površinsko stiskanje
mehanski udarci
Kronična utrujenost
Če je kontakt šibek ali neustrezno pritrjen, se lahko med delovanjem razloji, poči ali popači.
Visokokakovostni duktilni vezni sistemi so zato predpogoj za vse pomembne specifikacije grelne plošče Invar.
Ravnost površine in zahteve za končno obdelavo
Natančno brušenje in poliranje
Po lepljenju je površina Invar običajno natančno strojno obdelana, brušena in polirana, da se dosežejo zelo majhne tolerance ravnosti.
Specifikacije lahko vključujejo, odvisno od uporabe:
Ploskost na mikronski ravni
Specifikacije površinske hrapavosti
Meje paralelizma
Polirni zaključki optične kakovosti
Končna obdelava je zadnja, ki določa končno geometrijo Invarja, njegova kakovost pa neposredno vpliva na natančnost postopka.
Enakomerna temperatura po obrazu
Pomembna je tudi enakomerna porazdelitev temperature. Celo dimenzijsko stabilen material se lahko vseeno nekoliko popači z velikimi temperaturnimi nihanji na površini plošče.
Toplotno kartiranje in coniranje grelnikov se pogosto uporablja za zagotavljanje:
Stalna temperatura obraza
Najmanjše robne izgube
Stopnje rampe (nadzorovane)
Stalno delovanje s stabilnostjo
Vgrajeni grelniki kartuš
Segrejte jekleni okvir
Glavni vir toplote je običajno integriran v ohišje jeklene plošče s pomočjo kartušnih grelnikov v skrbno načrtovanih vzorcih.
Pri postavitvi grelnika je treba upoštevati:
Toplotna prevodnost jekla
Invarska plast, ki vstopa v toploto
Učinki hlajenja robov
Nalaganje postopka stika
Lokacija temperaturnega senzorja
Pravilna lega grelnikov preprečuje nastanek lokalnih vročih točk, ki bi lahko motile toplotno homogenost na površini Invarja.
Odzivnost v primerjavi s toplotno maso
Težka jeklena konstrukcija zagotavlja:
Mehanska togost
Sposobnost shranjevanja toplote
Strukturna trdnost
Medtem se dimenzijska natančnost ohrani na delovnem vmesniku na ploskvi Invar.
To uravnoteženje daje zelo stabilno toplotno osnovo za zahtevne natančne proizvodne procese.
Inšpekcija in kontrola kakovosti
Ultrazvočno testiranje vezi
Ultrazvočne inšpekcijske tehnike, ki lahko zaznajo celovitost vezi, se običajno uporabljajo za preverjanje:
Vrzeli
De{0}}laminacija
Neustrezna vezava
Razpoke v notranjosti
Ne-destruktivno testiranje je zelo pomemben korak nadzora kakovosti, saj se med toplotnim ciklom lahko napake na vmesniku povečajo.
Toplotno preverjanje
Lahko tudi gotove plošče
Kartiranje toplotnih površin
Preverjanje ravnosti pri delovni temperaturi.
Preskus termičnega cikla
Ocena dinamičnega odziva
Kompozitna konstrukcija je validirana, da potrdi pravilno delovanje v dejanskih delovnih pogojih.
Tipične uporabe za plošče, obložene z invarjem, so:
Proizvodni procesi za visoko natančnost
Grelne plošče z invarjem so pogosto določene za:
Nanoimprint litografija
Oblikovanje optičnih leč
Lepljenje polprevodniških rezin.
Natančno strjevanje kompozita
Laminacija s tankim filmom
Komponente za oblikovanje vesolja
Te aplikacije zahtevajo zelo stabilno geometrijo med ciklom ogrevanja.
Na kratko
Ena najuspešnejših inženirskih rešitev za nadzor toplotnega popačenja v preciznem ogrevanem orodju je grelna plošča z invarjem. Zasnova ponuja odlično dimenzijsko stabilnost pri visokih delovnih temperaturah, saj združuje robustno trdnost in toplotno maso jekla s skoraj{1}}ničelnim toplotnim raztezanjem zgornjega sloja Invar.
Pravilno izdelana specifikacija za grelno ploščo iz invarja mora upoštevati kakovost spoja, toplotno enakomernost, ravnost površine, razporeditev grelnikov in dolgoročno vzdržljivost termičnega cikla. Nastala naprava je zelo stabilna toplotna platforma, ki ohranja mikronsko -točnost ravni tudi v zahtevnih pogojih ogrevanja.
Najbolj natančna orodja so pogosto tista, ki so bila predvidena za mirovanje, tudi ko so segreta, v sodobnih sistemih za oblikovanje in toplotno obdelavo.








