Tehnologija nanašanja s pomočjo ionskega žarka za vakuumsko posrebrenje
Pustite sporočilo
Tehnologija nanašanja s pomočjo ionskega žarka za vakuumsko posrebrenje
Največja značilnost tehnologije nanašanja s pomočjo ionskega žarka je močan oprijem med filmom in substratom, plast filma pa je zelo čvrsta. Poskusi kažejo, da je adhezija nanašanja s pomočjo ionskega žarka nekajkrat do nekaj stokrat višja kot pri termičnem izhlapevanju, razlog pa je predvsem čistilni učinek podbombardiranja na površini, kar ima za posledico nastanek gradienta struktura vmesnika na vmesniku film-substrat. Ali mešana prehodna plast in zmanjša napetost filma.
Vakuumsko posrebrenje horizontalno kontinuirano prevleko
Linija za premazovanje je primerna za premazovanje ITO, AZO, TCO in drugih prozornih prevodnih filmov, kot tudi elementarnih kovin, kot so Ti, Ag, Cu, Al, Cr, Ni in drugi materiali; večinoma se uporablja v panelih pametnega doma, zaslonih, zaslonih na dotik, avtomobilskem steklu, ploščah fotovoltaičnih celic in drugih izdelkih.
Magnetronska razpršilna tarča za vakuumski srebrni tanki film ITO
Tarče za magnetronsko razprševanje za filme ITO so v glavnem razdeljene v dve kategoriji: tarče iz zlitine InSn in keramične tarče In2O3-SnO2. Pri uporabi tarče iz zlitine za pripravo tankega filma ITO je zaradi močne elektrokemične reakcije kisika kot reaktivnega plina s tarčo med postopkom razprševanja površina tarče prekrita s plastjo spojine, tako da je območje erozije pri napršenju manjše. zelo majhna (splošno znana kot "" zastrupitev tarče"), tako da je težko stabilno pripraviti visokokakovostne filme ITO z DC razprševanjem. To pomeni, da je pri uporabi magnetronskega naprševanja tarče iz zlitine okno procesnih parametrov zelo ozko Ker keramična tarča lahko zavira selektivno razprševanje kisika med postopkom razprševanja, lahko stabilno tvori reaktante kovinskega indija, kositra in kisika v skladu z zahtevanim kemijskim razmerjem, tako da ni pojava zastrupitve in proces okno je široko Dobra stabilnost Vendar to ne pomeni, da je keramična tarča rešila vse težave Na fotoelektrične lastnosti tankih filmov še vedno vplivajo glavni procesni parametri, kot so temperatura podlage, napetost razprševanja in vsebnost kisika. Fotoelektrične lastnosti tankih filmov ITO, pripravljenih z različnimi postopki, so precej različne. Zato je zelo smiselno izvesti raziskavo optimizacije procesnih parametrov ITO keramičnega tarčnega magnetronskega razprševanja.
www.superbheater.com
