Fizikalna metoda stroja za vakuumsko nanašanje

Fizikalna metoda stroja za vakuumsko nanašanje

1. Tehnologija fizičnega naparjevanja se nanaša na metodo uparjanja materiala za galvanizacijo v atome, molekule ali njegovega ioniziranja v ione pod vakuumskimi pogoji z uporabo različnih fizikalnih metod in neposrednega nanosa na površino substrata.

2. Tehnologija kemičnega naparjevanja je metoda dovajanja elementarnih plinov ali spojin, ki vsebujejo elemente, ki sestavljajo film, na podlago in s pomočjo delovanja plinske faze ali kemične reakcije na površini podlage, metoda izdelave kovine ali spojine filmov na substratu vključuje predvsem nanašanje s kemično paro pri atmosferskem tlaku. kemično nanašanje s paro pri nizkem tlaku in kemično nanašanje s paro v plazmi z značilnostmi CVD in PVD.

Z razvojem tehnologije premazovanja so se postopoma pojavili različni tipi strojev za vakuumiranje. Ne glede na to, za kakšen stroj za vakuumsko nanašanje gre, bodo na enakomernost filma vplivali nekateri dejavniki. Zdaj uporabljamo vakuumsko napravo za nanašanje z magnetnim naprševanjem za analizo dejavnikov neenakomernega nastajanja filma.

Mehanizem stroja za vakuumsko nanašanje je tog prenos

V primerjavi z mehanizmom verižnega prenosa je mehanizem tog prenos in ni problema z netočnimi mrežami. Hkrati se lahko zaradi majhnega potrebnega prehodnega prostora prihrani čas preklopa ventila med vakuumskimi komorami in dodatno zmanjša atmosfera med različnimi vakuumskimi komorami. prepletena. Zato sta stabilnost in zanesljivost postopka premazovanja, izkoristek končnih izdelkov ter poraba energije in stroški močno izboljšani.

Običajne metode nanosa cementnega karbida na stroju za vakuumsko nanašanje

Običajno uporabljena metoda prevleke iz cementnega karbida je metoda kemičnega naparjevanja pri visoki temperaturi (kratko HTCVD metoda), ki pomeni nanos čistega H2, CH4, N2, TiCl4, AlCl3, CO2 in drugih plinov ali hlapov v sistemu za nanašanje pod normalnim tlakom. ali negativni tlak. , glede na sestavo nanosa enakomerno zmešajte ustrezen plin v določenem razmerju in ga nanesite na površino rezila iz cementnega karbida pri določeni temperaturi (običajno 1000 stopinj C ~ 1050 stopinj C), to je, nanašanje TiC, TiN, Ti(C, N) ali Al2O3 ali njihovih kompozitnih prevlek.

www.superbheater.com