Natančni magnetronski napršeni stroj za optično prevleko

Natančni magnetronski napršeni stroj za optično prevleko

Sistem nanašanja z razprševanjem ima več cilindričnih tarč na stranski steni za povečane stopnje nanašanja in večslojne prevleke. Sistem je opremljen s krožnimi katodami z enosmernim impulzom ali močjo RF, navpično nameščenimi substrati in cilindričnimi katodami za čim večje onesnaževanje z delci v procesu nanašanja premaza, učinkovitost proizvodnje in učinkovitost filma pa sta močno izboljšani s prilagodljivo kombinacijo več votlin.

Visoko natančen magnetronski napršeni optični premazni stroj z več votlinami

Naprava je opremljena z postoksidacijskim načinom magnetronskega razprševanja s pomočjo RF-ICP, ki ima visoke stopnje nanašanja in ustrezne optične lastnosti. Primeren je za nanašanje AR folije na pokrivno steklo vozila in sprednjo pokrivno steklo izdelkov 3C. Film AR je lahko navaden filmski sistem SiO2 plus Nb2O5 ali filmski sistem trdega SiO2 plus Si3N4. Hkrati je primeren tudi za obdelavo barvnega filma zadnje platnice izdelka 3C (vključno z gradientnim barvnim filmom) in filma NCVM.

Stroj za vakuumsko nanašanje Visoko natančen stroj za optično nanašanje magnetronskega naprševanja

Modularna zasnova opreme lahko združuje enoto za plazemsko čiščenje (Plasma-clean), enoto za magnetronsko razprševanje (SPT), enoto za kemično reakcijo, okrepljeno s plazmo (PECVD), enoto za nanašanje atomske plasti (ALD) in enoto za jedkanje s kemično reakcijo v plazmi (RIE). ) enoto za razširitev središča za obdelavo mikro-nano v gruče, da bo pokril celoten postopek čiščenja substrata, nanašanja filma (vključno z ultratankimi filmi) in vzorčastega jedkanja za obdelavo mikro-nano strukture polprevodnikov.

Ultra-debela prevleka iz zlitine z več elementi in ultra-debela nitridna prevleka naprave za vakuumsko nanašanje

Debelina neprekinjenega nanašanja prevleke iz večkomponentne zlitine lahko doseže več kot 120 um, tridimenzionalno vrtenje ene tarče je mogoče doseči več kot ali enako 6,5 um/h, neprekinjeno nanašanje nitridne prevleke pa je več kot 25 um , je mogoče doseči tridimenzionalno vrtenje posamezne tarče, ki je večja ali enaka 3 um/h, trdota površine obdelovanca pa se izboljša. Zagotovljena je nova rešitev za popravilo lopatic letalskih motorjev in erozijo robov lopatic parnih turbin.

www.superbheater.com