Priprava galvanskih spojin za električne grelne cevi
Pustite sporočilo
Priprava galvanskih spojin za električne grelne cevi
Večina spojin se popolnoma ali delno razgradi med toplotnim izhlapevanjem, zato preproste tehnike izparevanja ne morejo proizvesti kemično sorazmerne plasti filma iz sestavljenega materiala za prevleko. Nekatere spojine, kot so kloridi, sulfidi in selenid, in celo nekaj oksidov, kot sta B2O3 in SnO, pa lahko izhlapijo. Ker se redko razgradijo ali ko kondenzirajo, se različne komponente rekombinirajo.
（3） Prevleka spojin z visokim tališčem
Tališče materialov, kot so oksidi, karbidi in nitridi, je na splošno visoko, stroški proizvodnje takih spojin pa so tudi zelo dragi. Zato se za pripravo tankih filmov teh spojin pogosto uporablja "metoda reakcijskega izhlapevanja". Kot so Tic, Cr2O3, SiO2, Ta2O5, ZrN, Al2O3, AlN, TiN in TiC. Metoda reaktivnega izhlapevanja je izhlapevanje trdnih materialov v atmosferi, napolnjeni z aktivnim plinom, zaradi česar oba reagirata na podlagi in tvorita sestavljeno prevleko. Na primer, prevleka, TiC) vključuje uvajanje plina acetilena v vakuumsko komoro med izhlapevanjem T in nato reakcijo Ti z acetilenom na substratu, da dobimo plast filma Tic. Če med virom izhlapevanja in substratom nastane plazma, lahko poveča energijo, stopnjo ionizacije in stopnjo kemijske reakcije med reakcijskimi plini, kar se imenuje "aktivna reakcija izhlapevanja".
（4） Metoda izhlapevanja s pomočjo ionskega žarka
Ko izhlapevajoči atomi ali molekule dosežejo površino substrata, je energija zelo nizka (približno 0,2 ev), odloženi delci pa ustvarijo učinek sence na delce, ki kasneje odletijo, kar ima za posledico stebrasto zrnato strukturo agregata z veliko porami v filmski plasti. Oprijem je slab in zlahka absorbira vlago in druge sestavine plina, kar ima za posledico nestabilne lastnosti. Za izboljšanje te situacije se lahko za obstreljevanje uporabljajo viri ionov. Pred nanosom se za obstreljevanje substrata uporabi ionski žarek nekaj sto elektronvoltov za čiščenje in izboljšanje površinske aktivnosti, nato pa se za obstreljevanje med izparevanjem uporabi nizkoenergijski ionski žarek. Na primer z uporabo izhlapevanja s pomočjo manganovega ionskega žarka za pridobitev elektroluminiscentnih tankih filmov Zns:Mn. Poleg tega se ta metoda lahko uporablja tudi za pripravo sestavljenih filmov itd.
www.superbheater.com
