Ultrazvočni čistilni stroj za polprevodnike

Ultrazvočni čistilni stroj za polprevodnike

Polprevodniška industrija je jedro sodobne elektronske industrije, temelj polprevodniške industrije pa je industrija silicijevih materialov. Čeprav se vrsta novih polprevodniških materialov še naprej pojavlja, je več kot 90 odstotkov polprevodniških naprav in vezij, zlasti ultra velikih integriranih vezij (ULSI), izdelanih na polirnih in epitaksialnih rezinah silicija visoke čistosti in visoke kakovosti.

Pomen čiščenja silicijevih rezin za industrijo polprevodnikov je bil visoko cenjen že od zgodnjih petdesetih let prejšnjega stoletja, saj lahko onesnaževalci na površini silicijevih rezin resno vplivajo na delovanje, zanesljivost in izkoristek naprav. S hitrim razvojem tehnologije mikroelektronike in naraščajočim povpraševanjem po surovinah postaja vpliv onesnaževal na naprave vse bolj izrazit.

V sedemdesetih letih prejšnjega stoletja je bil razvit večkanalni elektronski multiplikator, ki temelji na enokanalnem elektronskem multiplikatorju. Mikrokanalne plošče so bile široko uporabljene zaradi svoje preproste strukture, velikega ojačenja, hitrega časovnega odziva in značilnosti prostorskega slikanja. Uporablja se predvsem v različnih vrstah ojačevalnikov slike, naprav za nočno opazovanje, kvantnih detektorjev položaja, žarkovnih ojačevalnikov, poljskih ionskih mikroskopov, ultra hitrih širokopasovnih osciloskopov, fotoelektričnih množiteljev itd. Mikrokanalna plošča je multiplikator elektronov z več nizi, ki je osrednja komponenta ojačevalnika slike pri nizki ravni svetlobe. Proizvodni proces MCP je dolg in zapleten, navidezne napake pa so eden ključnih dejavnikov, ki omejujejo izkoristek MCP. Med proizvodnim procesom MCP je neizogibno onesnaženje s prahom, kovinami, organskimi snovmi in anorganskimi snovmi. Ta onesnaževala lahko zlahka povzročijo površinske napake in umazanijo v luknjah, kar ima za posledico emisijske točke, črne lise, temne lise itd., kar vodi do zmanjšanja izkoristka MCP, zaradi česar je kakovost cevi nestabilna in celo neučinkovita. Zato je pomembno uporabiti ultrazvočno čistilno tehnologijo za odstranjevanje kontaminantov med proizvodnim procesom MCP.

www.superbheater.com