Miniaturizacija senzorjev in tehnologija čipov

Mikroelektromehanski sistem (MEMS) je mikrosistem ali naprava, ki združuje mikro mehanizme, mikro-senzorji, mikro-aktuatorji, kontrolne vezje, obdelavo signalov, komunikacijo, vmesnike, napajalnike itd. Je tehnologija za oblikovanje, proizvodnjo, proizvodnjo, merjenje in kontroliranje mikro/nano/nano.

Tehnologija MEMS vključuje: tehnologijo mikromahinga silikona, globoko reaktivno jedkanje ionov, tehnologijo LIGA, tehnologijo molekularne montaže, razsuto mikromahiniranje, površinsko mikromahiniranje, lasersko mikromahiniranje in tehnologijo mikropakiranja.

Tehnologija silicijevega mikromahinga je glavna tehnologija MEMS. Gre za natančno tridimenzionalno tehnologijo obdelave. Gre za tehnologijo za razvoj senzorjev, mikroaktuatorjev, mikroaktuatorjev in mikro-mehaničnih sistemov. Uspešno se uporablja za izdelavo različnih mikro senzorjev in večfunkcionalnih občutljivih elementov. Kot so mikro-siliconski kapacitivni senzorji, mikro-siliconski masni senzorji, dinamični senzorji in mikro-senzorji za vesoljski prostor, avtomobilski tlak in pospeševalni senzorji, okoljsko varstvo mikrokemičnih senzorjev, ETC.

Integracijska tehnologija senzorskih nizov in kompozitih večkratnih parametrov

Integracija se nanaša na integracijo več funkcij zaznavanja s obdelavo podatkov, shranjevanjem, dvosmerni komunikaciji itd., Kot so tlak, statični tlak, temperaturni tri spremenljivi senzor; zračni tlak, vetrna sila, temperatura, vlaga s štirimi spremenljivimi senzorji; Mikro silikonski kompozitni sevalni tlačni senzor in senzor matrike itd. Vse uporabljajo tehnologijo integracije. Proces integracije in več spremenljiva kompozitna mikrostruktura Senzor Integriran proces proizvodnje, kot so tlak, statični tlak, temperaturni tri spremenljivi senzor, zračni tlak, temperatura, temperatura, vlaga štiri-spremenljivega senzorja, mikro silicijev kompozitni sevalni tlak, senzor matrika.

Obstajata dve vrsti integracije senzorjev: ena je, da na čipu sestavite več modulov senzorjev s pomočjo tehnologije za mikrofiniranje, da tvori linearni senzor (na primer senzor slike CCD); Drugi pa je, da na istem silicijevem čipu naredijo občutljive komponente z različnimi funkcijami, da se integrirani večnamenski senzor z visoko integracijo, majhnostjo, majhni in enostavni kompenzaciji in popravljanju.