Struktura in lastnosti tankih filmov TiCN, pripravljenih z vakuumskim naprševanjem srebra
Pustite sporočilo
Struktura in lastnosti tankih filmov TiCN, pripravljenih z vakuumskim naprševanjem srebra
Tanke plasti TiCN so bile pripravljene na podlagah iz hitroreznega jekla M2 s so-naprševanjem grafitnih tarč in titanovih tarč v mešani atmosferi dušika in argona. Zaznana je bila trdota tankega filma TiCN, za ovrednotenje stanja vezi tankega filma in substrata pa sta bili uporabljeni metoda vdolbine in metoda prask. Preizkus rezanja tankoslojne pipe TiCN je bil izveden, da bi raziskali vzdržljivost tanke plasti TiCN. Rezultati kažejo, da atomi C v filmu TiCN obstajajo v obliki trdne raztopine v rešetki TiN, orientacija filma TiCN na kristalni ravnini (111) je bistveno šibkejša kot pri filmu TiN in zlom film TiCN je dolga blokasta struktura in njegova stranska dimenzija je večja od tiste pri filmu TiN. Film je majhen in površina TiCN filma je neenakomerna. Vezna sila med filmom TiCN in substratom je približno 40 N. Atomi C v filmu TiCN imajo učinek krepitve trdne raztopine in krepitve rafiniranosti zrn. Trdota filma TiCN se poveča z 20,3 na 33,4 GPa filma TiN. Film TiCN ima dobre lastnosti proti trenju, življenjska doba navojnih navojnih nastavkov iz TiCN folije pri navojih iz materiala 40Cr pa je znatno daljša od življenjske dobe navojnih navojnih navojnih navojov iz TiN folije in neprevlečenih navojnih navojnih nastavkov.
Priprava tankih filmov TiCN z vakuumskim posrebrenjem trdnega C izvora
Trenutno večina metod PVD uporablja CH4 ali C2H2 kot vir C za pripravo tankih plasti TiCN. Med postopkom priprave lahko s prilagajanjem razmerja pretoka plina pridobimo tanke plasti TiCN z različnimi razmerji vsebnosti elementov in različnimi lastnostmi. Vendar pa je težava pri tej metodi v tem, da bo presežek plina iz vira ogljika povzročil resno onesnaženje notranje strukture telesa peči stroja za nanašanje premazov, ostanek ogljikovega ohlapnega sloja na steni peči pa se bo sprostil med naslednjim postopkom nanašanja premaza, kar bo motijo atmosfero odlaganja filma. Kontinuirana proizvodnja je neugodna in pogosto vodi v nestabilno delovanje tankoslojnih obdelovancev v industrijski proizvodnji.
www.superbheater.com
