Napake mehanizma prenosa verižnega tunela stroja za vakuumsko nanašanje so:

Napake mehanizma prenosa verižnega tunela stroja za vakuumsko nanašanje so:

1. Povezovalni ventil med vakuumskimi komorami mora biti večje velikosti, tako da se atmosfere med različnimi vakuumskimi komorami zlahka povežejo med seboj, s čimer se zmanjša kakovost premaza in izkoristek itd.; 2. Zahtevana je višja natančnost načrtovanja in stopnja obdelave, ker gre za fleksibilno strukturo, nagnjeno k netočnemu ujemanju, kar ima za posledico okvaro prenosa. Postopek prenosa batnega regala in transporterja potisne palice stroja za vakuumsko nanašanje je tak, da je pritrjen na vrhu komore za nanos ali na ohišje (na isti strani kot vrtljiva plošča) in lahko premika gonilo G in stojalo. Mehanizem H-potisne palice, rotacijska palica obdelovanca Am se zaporedoma prenese z vrtljivega diska Jm vakuumske komore M na vrtljivi disk Jn vakuumske komore N. Moč, ki jo uporabljajo zobniki in zobate letve, se doseže z motorji, katerih gredi so zaprte zunaj vakuumske komore. Da bi se samovrteča palica obdelovanca ločila od orbitalnega diska in vstopila v naslednji orbitalni disk, je med orbitalnim diskom in vrtljivo gredjo sprejeta odprta povezava. Komora M se prenese v naslednjo komoro N za premaz.

V primerjavi z mehanizmom verižnega prenosa je mehanizem tog prenos in ni problema z netočnimi mrežami. Hkrati se lahko zaradi majhnega potrebnega prehodnega prostora prihrani čas preklopa ventila med vakuumskimi komorami in dodatno zmanjša atmosfera med različnimi vakuumskimi komorami. prepletena. Zato sta stabilnost in zanesljivost postopka premazovanja, izkoristek končnih izdelkov ter poraba energije in stroški močno izboljšani.

Z razvojem gospodarstva in izboljšanjem življenjskega standarda ljudje radi fino nastavljajo ohišja ur, paščke za ure, oblačila, razsvetljavo, okvirje za očala, notranje in zunanje dekoracije, strojno prtljago, etuije za mobilne telefone, zaslone mobilnih telefonov, sanitarno opremo , embalažo za hrano in druge dekoracije. Barvito okrašeno.

Uporaba veščin strojnega premazovanja z vakuumskim premazom v proizvodnji integriranih vezij

Zaščitna plast (SiO2, Si3N4) in elektrodni cevovod (polisilicij, aluminij, baker in njegove zlitine) v tranzistorskem vezju so večinoma izdelani iz tehnologije CVD, PVCD tehnologije, tehnologije vakuumskega izhlapevanja kovin, tehnologije magnetronskega razprševanja in tehnologije radiofrekvenčnega razprševanja. Vidimo lahko, da je nanašanje s paro ena od temeljnih veščin pri pripravi integriranih vezij.

www.superbheater.com