Temperatura površine stroja za vakuumsko oblikovanje z elektronskim žarkom je sorazmerna z intenzivnostjo elektronskega žarka

Temperatura površine stroja za vakuumsko oblikovanje z elektronskim žarkom je sorazmerna z intenzivnostjo elektronskega žarka

Temperatura površine filmov in obdelanih delov je sorazmerna z intenzivnostjo elektronskega žarka. Intenzivnost elektronskega žarka je mogoče nadzorovati z nadzorovanjem toka do žarilne nitke, s čimer se nadzoruje površinska temperatura tankoslojnega materiala in strojno obdelanih delov.

Stroj za vakuumsko oblikovanje Stroj za nanašanje premazov z elektronskim žarkom mora najprej segreti filament

Ko naprava za nanašanje z elektronskim žarkom deluje, je treba filament najprej segreti. Tok predgretja žarilne nitke je 60-90A, čas predgretja pa več kot 20 minut. Ko se žarilna nitka segreje, se potencialna energija elektronov v žarilni nitki (katodi) poveča v pripravi na emisijo elektronov. V tem času, ko se vklopi napetost 20KV]JI~ (2), začne žarilna nitka (katoda) pod delovanjem električnega polja oddajati elektrone. Pod kombiniranim delovanjem sistema za fokusiranje, odklonske tuljave in pospeševalne napetosti se elektroni, ki jih oddaja žarilna nitka (katoda), zberejo v žarek in oddajo v filmski material ali del, ki se obdeluje, z zelo visoko hitrostjo.

Ukrepi za izboljšanje filmske plasti opreme za vakuumsko nanašanje:

(1) Pecite po nanosu. Ko položite zadnjo plast folije, ne prenehajte s peko takoj, temveč nadaljujte s "tempiranjem" 10 minut. Naredite strukturo filma bolj stabilno.

(1) Čas ohlajanja se ustrezno podaljša in izvede se žarjenje. Zmanjšajte toplotni stres, ki ga povzroča prevelika temperaturna razlika med notranjostjo in zunanjostjo vakuumske komore.

(2) Med postopkom izhlapevanja filma z visoko refleksijo in filtrirnega filma temperatura podlage ne sme biti previsoka, visoka temperatura pa zlahka povzroči toplotno obremenitev. In negativno vpliva na optično stabilnost titanovega oksida, tantalovega oksida in drugih filmskih materialov.

(iii) Postopek premazovanja z ionsko pomočjo za zmanjšanje stresa.

(iv) Izberite ustrezen filmski sistem, ki se ujema, ujemanje med prvo plastjo filmskega materiala in podlago. (Na primer, petslojni antirefleksni film uporablja Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 lahko uporablja tudi SV -5 (mešan filmski material ZrO2 TiO2) ali drug mešani filmski material z visokim lomnim količnikom.

(V) Ustrezno zmanjšajte stopnjo izhlapevanja (Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S referenčna stopnja)

(vi) Vsi materiali oksidnega filma so napolnjeni s kisikom in reaktivno prevlečeni, količina vnosa kisika pa je nadzorovana glede na različne materiale filma.

www.superbheater.com