Stroj za vakuumsko nanašanje je treba kombinirati z vrsto različnih črpalk, da medsebojno delujejo
Pustite sporočilo
Stroj za vakuumsko nanašanje je treba kombinirati z vrsto različnih črpalk, da medsebojno delujejo
Pri izbiri vakuumske črpalke bodite najprej pozorni na to, ali tresljaji, ki jih povzroča vakuumska črpalka med delovanjem, vplivajo na proces in okolje. Če je proces prizadet, je treba sprejeti protivibracijske ukrepe ali izbrati drugo vakuumsko črpalko. Pri izbiri morate poznati sestavo plina, ki ga želite črpati. Če je potrebno selektivno črpanje, ena črpalka morda ne bo zadostovala za izpolnjevanje zahtev, zato je treba za skupno delovanje kombinirati več različnih črpalk. Če premaz opreme za vakuumsko nanašanje ne zahteva olja, je treba izbrati črpalko brez olja.
Cena in stroški vzdrževanja vakuumske črpalke so tudi ena ključnih točk, ki jih upoštevamo.
Vakuumsko hlajenje je potrebno za vse vire (magnetron, več oblokov, ionski)
Magnetronsko reaktivno razprševanje izolatorjev se zdi enostavno, vendar je dejansko delovanje težko. Glavna težava je, da se reakcija ne pojavi samo na površini dela, temveč tudi na anodi, površini vakuumske komore in površini tarčnega vira. S tem povzroči gašenje požara, izvor tarče in oblok na površini obdelovanca itd. Tehnologija dvojnega tarčnega vira, ki jo je izumil Leybold v Nemčiji, zelo dobro rešuje ta problem. Načelo je, da sta par ciljnih virov katoda in anoda drug drugemu, s čimer se odpravi oksidacija ali nitridacija površine anode. Hlajenje je potrebno za vse vire (magnetron, večoblok, ioni), saj se velik del energije pretvori v toploto. Če hlajenja ni ali je hlajenje nezadostno, bo zaradi te toplote temperatura ciljnega vira dosegla več kot 1,000 stopinj in stopila celoten ciljni vir. .
www.superbheater.com
