Hladilni sistem stroja za vakuumsko nanašanje

Hladilni sistem stroja za vakuumsko nanašanje

Stroj za vakuumsko premazovanje je opremljen z vakuumsko komoro na sredini ter levimi in desnimi vrati na levi in ​​desni strani vakuumske komore ter opremljen z napravo za izparevanje in magnetronsko napravo. Vmesnik obeh naprav je mogoče rezervirati na dvojnih vratih, če je potrebno Dress up. Stroj za vakuumsko nanašanje je na splošno sestavljen iz vakuumskega sistema, sistema za izparevanje, sistema za navijanje filma, hladilnega sistema, krmilnega sistema in drugih glavnih delov.

Mazalni učinek maziva molibdenovega disulfida v stroju za vakuumsko nanašanje

Metode mazanja v vakuumu običajno vključujejo prevleko s trdnim mazalnim filmom in neposredno uporabo maziv, ki zlahka poškodujejo natančnost gibanja vodilne tirnice, postopek pa je zapleten.

V ta namen smo preizkusili mazalni učinek maziva iz molibdenovega disulfida, ki je na trgu, razpršili mazivo neposredno na površino gibljivega para in uporabili kvadrupolni masni spektrometer za analizo plina, ki izhlapi iz maziva v vakuumu. glavna sestavina.

Količina kompenzacije stroja za vakuumsko nanašanje v stanju vakuuma se ponovno prilagodi

Znesek kompenzacije v stanju vakuuma, izračunan z izračunom končnih elementov (ali izmerjen v prvem koraku), se ponovno prilagodi. Očitno je, da je odbiti žarek v tem trenutku daleč stran od sprejemnega vidnega polja avtokolimatorja, toda ko vakuumska komora preide v stanje vakuuma, se odbiti žarek znova prilagodi. Vstopite v sprejemno vidno polje avtokolimatorja in v tem trenutku zabeležite dvodimenzionalni kotni odklon. Dvodimenzionalna kotna odstopanja, prikazana pred in za njim, so v bistvu skladna.

Mazanje gibljivega para delovne mize in njegov vpliv na vakuumsko okolje Skeniranje delovne mize je pogosto gibanje v okolju vakuumske komore. Poleg kotaljenja namesto drsenja za zmanjšanje koeficienta trenja je dobro mazanje nujen pogoj za zagotovitev dolgoročnega normalnega delovanja jedkalne naprave.

www.superbheater.com