Stroj za vakuumsko nanašanje Tehnične zahteve vakuumskega izhlapevanja
Pustite sporočilo
Stroj za vakuumsko nanašanje Tehnične zahteve vakuumskega izhlapevanja
1. Struktura opreme mora biti razumna v postavitvi, lepega videza, enostavna za uporabo in enostavna za vzdrževanje.
2. Struktura in velikost statičnih in dinamičnih tesnil v opremi morata biti v skladu z določbami GB/T 6070 in JB/T 1090-1092.
3. Vakuumske merilnike je treba namestiti na nizko- in visokovakuumske cevi ter komore za premazovanje za merjenje tlaka vsakega dela posebej.
4. Če vakuumska enota opreme uporablja difuzijsko črpalko kot glavno črpalko, je treba na dovod zraka v difuzijsko črpalko namestiti pregrado ali hladilno past.
5. V prostoru za nanašanje premazov mora biti opazovalno okno, na opazovalnem oknu pa je treba namestiti leče proti žarkom za opremo, ki ustvarja sevanje med postopkom premazovanja.
6. Oprema z napravo za pečenje obdelovancev mora imeti elektrode za merjenje temperature ali naprave za merjenje temperature.
7. Hitrost vrtenja vrtljivega mehanizma nosilca obdelovanca mora izpolnjevati zahteve zasnove izdelka.
8. Oprema, opremljena z napravo za ionsko obstreljevanje ali napravo z nizkoenergijskim virom ionov s širokim žarkom, mora biti sposobna neprekinjeno in stabilno delovati več kot 30 minut v okviru parametrov, določenih v zahtevah za načrtovanje izdelka.
9. Grelnik, ki uporablja volframovo žico kot vir toplote za izhlapevanje, mora omogočiti normalno izhlapevanje materiala za izhlapevanje, geometrija grelnika pa ne sme vplivati na normalno izhlapevanje med postopkom izhlapevanja.
10. Delovno stanje vira izhlapevanja opreme mora biti stabilno in enostavno za prilagajanje in nadzor. Tehnične zahteve za različne vire izhlapevanja (kot so viri z uporom za izhlapevanje, viri z elektronskim žarkom, viri z ionskim žarkom, viri z laserskim izparevanjem, induktivni viri izhlapevanja itd.) je treba določiti v skladu z ustreznimi standardi za izdelke.
11. Ko ima oprema nizkonapetostni vir izhlapevanja z visokim tokovnim uporom, mora vsak grelnik vira izhlapevanja normalno delovati pri napetosti od 4 V do 20 V in toku od 50 A do 180 A.
www.superbheater.com
