Stroj za vakuumsko nanašanje majhne opreme, večnamenski vir statične tarče magnetnega polja

Stroj za vakuumsko nanašanje majhne opreme, večnamenski vir statične tarče magnetnega polja

Ciljni vir je razdeljen na uravnotežene in neuravnotežene vrste. Uravnotežen izvor tarče ima enakomerno prevleko, prevleka neuravnoteženega vira tarče pa ima močno vezno silo s podlago. Uravnoteženi ciljni viri se večinoma uporabljajo za polprevodniške optične filme, neuravnoteženi cilji pa se večinoma uporabljajo za obrabne dekorativne filme.

Ne glede na ravnovesje ali neuravnoteženost, če magnet miruje, značilnosti njegovega magnetnega polja določajo, da je splošna ciljna stopnja izkoriščenosti manjša od 30 odstotkov. Da bi povečali stopnjo izkoriščenosti ciljnega materiala, lahko uporabimo rotacijsko magnetno polje. Toda vrtenje magnetnega polja zahteva vrtljivi mehanizem, hkrati pa se zmanjša hitrost razprševanja. Rotirajoča magnetna polja se večinoma uporabljajo za velike ali drage tarče. Kot na primer razprševanje polprevodniškega filma. Za majhno opremo in splošno industrijsko opremo se pogosto uporablja vir statične tarče magnetnega polja.

Skupne točke magnetronskega naprševanja stroja za vakuumsko nanašanje

Skupna točka: Interakcija med magnetnim poljem in elektroni povzroči, da elektroni tečejo v spiralni obliki blizu ciljne površine, s čimer se poveča verjetnost, da elektroni zadenejo plin argon in ustvarijo ione. Ustvarjeni ioni zadenejo tarčno površino pod delovanjem električnega polja in razpršijo tarčo. V razvoju zadnjih desetletij so bili postopoma sprejeti trajni magneti, tuljavni magneti pa se redko uporabljajo.

Pasivacija spodnjega premaza stroja za vakuumsko premazovanje

Lažje kot je premaz pasiviran, slabša je sila lepljenja premaza na njem. Nikelj je kovina, ki jo je enostavno pasivirati. Med postopkom nikljanja je izklopni par nekoliko daljši in plast nikljanja bo kemično pasivirana v raztopini za nikljanje;

Če se pojavu amfoternih elektrod ni mogoče učinkovito izogniti (za podrobnosti glejte četrto predavanje), bo na obdelovancu kot anodnem delu lokalno prišlo do resne elektrokemične pasivacije, zato je treba posebno pozornost posvetiti pri galvanizaciji Duoxian niklja. Krom je lažje pasivirati kot nikelj, zato mora imeti kromiranje na krom dobro aktivacijo.

Obstaja tudi veliko primerov kromiranja na krom, kot so: dekorativno kromiranje se uporablja za sekundarno kromiranje, kadar je sposobnost primarnega globokega prevleke slaba; da se upošteva odpornost proti koroziji in odpornost proti obrabi, se na mlečni krom nanese trdo kromiranje (v bistvu ni razpok); Galvanizacija molibdena in molibdenovih zlitin zahteva kromiranje in tako naprej.

www.superbheater.com