Oprema za vakuumsko galvanizacijo magnetronsko razprševanje težke tarče
Pustite sporočilo
Oprema za vakuumsko galvanizacijo magnetronsko razprševanje težke tarče
Ciljni vir je razdeljen na uravnotežene in neuravnotežene vrste. Uravnotežen izvor tarče ima enakomerno prevleko, prevleka neuravnoteženega vira tarče pa ima močno vezno silo s podlago. Uravnoteženi ciljni viri se večinoma uporabljajo za polprevodniške optične filme, neuravnoteženi cilji pa se večinoma uporabljajo za obrabne dekorativne filme.
Ne glede na ravnotežje in neravnovesje, če magnet miruje, značilnosti njegovega magnetnega polja določajo, da je ciljna stopnja izkoriščenosti na splošno nižja od 30 odstotkov. Da bi povečali stopnjo izkoriščenosti ciljnega materiala, lahko uporabimo rotacijsko magnetno polje. Vendar vrteče se magnetno polje zahteva vrtljivi mehanizem, zato je treba hkrati zmanjšati hitrost razprševanja. Vrtljiva magnetna polja se večinoma uporabljajo za velika ali draga
Težka tarča. Kot na primer razprševanje polprevodniškega filma. Za majhno opremo in splošno industrijsko opremo se pogosto uporablja vir statične tarče magnetnega polja.
Enostavno je razpršiti kovine in zlitine z magnetronskimi ciljnimi viri, vžig in razprševanje pa sta priročna. To je zato, ker lahko tarča (katoda), plazma in vakuumska komora razpršenega dela tvorijo vezje. Če pa napršimo izolatorje, kot je keramika, se vezje prekine.
Magnetronsko razprševanje opreme za vakuumsko galvanizacijo vključuje veliko vrst
Obstaja veliko vrst magnetronskega naprševanja z vakuumsko prevleko. Vsak ima drugačna načela delovanja in namene uporabe. Imajo pa eno skupno stvar: interakcija magnetnega polja z elektroni povzroči, da se elektroni spiralno vrtijo okoli ciljne površine, s čimer se poveča verjetnost, da elektroni zadenejo plin argon in proizvedejo ione. Kraj
Ustvarjeni ioni zadenejo tarčno površino pod delovanjem električnega polja in razpršijo tarčo.
V razvoju zadnjih desetletij so bili postopoma sprejeti trajni magneti, tuljavni magneti pa se redko uporabljajo.
www.superbheater.com
