Področje uporabe magnetronskega napršenega premaza z vakuumskim posrebrenjem

Področje uporabe magnetronskega napršenega premaza z vakuumskim posrebrenjem

Glavna področja uporabe so: polprevodniški film, dielektrični film, zaslonski film, optični film, dekorativni film.

Uporabni materiali so: kovinska tarča, tarča iz zlitine, magnetna tarča, oksidna tarča.

Oprema za magnetronsko naprševanje z vakuumskim posrebrenjem

(1) Ciljni material mora imeti dobro mehansko trdnost in kemično stabilnost po nastanku filma;

(2) Kombinacija tarče in podlage mora biti čvrsta, sicer je treba uporabiti film z dobrim oprijemom na podlago, najprej nabrizgati spodnji film in nato pripraviti zahtevani film;

(3) Kot filmski material za reaktivno razprševanje mora biti enostavno oblikovati sestavljen film z reaktivnim plinom;

(4) Pod predpostavko izpolnjevanja zahtev glede učinkovitosti filma, manjša kot je razlika med koeficienti toplotnega raztezanja tarče in podlage, tem bolje, da se zmanjša vpliv toplotne obremenitve filma za brizganje;

(5) Glede na namen in zahteve glede učinkovitosti filma mora izbrana tarča izpolnjevati tehnične zahteve glede čistosti, vsebnosti nečistoč, enotnosti komponent in natančnosti obdelave.

Razvrstitev glede na področje uporabe tarče, material in obliko tarče

Vakuumsko posrebrenje filmov s posebnimi morfološkimi materiali

S hitrim razvojem visoke in nove tehnologije so tanki filmi s posebnimi morfološkimi materiali, ki jih zahtevajo trije stebri nove tehnološke revolucije, svetlobni vodnik, energija, materiali in informacijska znanost, postali serija izdelkov, kot so optika, mikroelektronika, senzorji , in izkoriščanje informacijske energije. Tehnike, vključno z nanašanjem z razprševanjem, ionskim nanašanjem, nanašanjem s kemično paro, epitaksijo z molekularnim žarkom, nanašanjem z ionskim žarkom ter merjenjem in spremljanjem debeline filma ter strukture, morfologije, sestave in značilnosti filmov, so imenovano novo predmetno področje "filmska znanost in tehnologija". Trenutno ima moja država s pripravo tankih filmov in razvojem tankoslojnih materialov že obsežno industrijo tankih filmov, razvojne možnosti vakuumskega premazovanja pa so zelo široke.

www.superbheater.com