Vakuumsko posrebrenje z reaktivnim brizganjem

Vakuumsko posrebrenje z reaktivnim brizganjem

Prvi je uporaba sestavljenih tarč za prevleko. Med razprševanjem se ciljna spojina razgradi zaradi učinka ionskega obstreljevanja. Na primer, po uporabi čistega argona kot plina za razprševanje bo stehiometrično razmerje na novo proizvedenega filma popačeno. Da bi nadomestili izgubo znanih komponent, lahko argonu dodamo določeno količino reaktivnega plina, da ustvarimo spojine, da zagotovimo, da ostane sestava filmske plasti nespremenjena.

Drugi je uporaba čiste kovine, zlitine ali zmesi kot tarče za nanos v mešani atmosferi za naprševanje, sestavljeni iz inertnega in reaktivnega plina, z razprševanjem in kemično reakcijo, da dobimo sestavljen film.

Glavna razlika med obema oblikama je hitrost usedanja in tlak reakcijskega plina. Reaktivni plini, ki se lahko uporabljajo za reaktivno razprševanje, so: zrak, kisik ali vodna para (za ustvarjanje oksidnega filma), dušik ali NH3 (za ustvarjanje nitridnega filma), kisik in dušik (za ustvarjanje oksinitridnega filma), H2S (za ustvarjanje sulfidni film), As (ustvarjanje arzenovega filma) itd. Nekateri od teh plinov morajo biti pri uporabi pozorni na varnostna vprašanja.

Trenutno je premer cilindrične magnetronske razpršilne tarče dosegel 2,5 metra, dolžina ravninske magnetronske razpršilne tarče pa 6,5 ​​metra. Pojav visokozmogljivih magnetronskih razpršilnih tarč z velikimi površinami je odprl široko pot za aplikacije v obsežni industrijski proizvodnji.

Slabosti vakuumskega posrebrenja, odpornost proti izhlapevanju, metoda izhlapevanja

Pomanjkljivost metode izhlapevanja z uporovnim virom izhlapevanja je, da je najvišja temperatura, ki jo je mogoče doseči s segrevanjem, omejena, življenjska doba grelnika pa je tudi kratka. V zadnjih letih so tovarne opreme za vakuumsko prevleko doma in v tujini za izboljšanje življenjske dobe odpornega vira izhlapevanja kot vir izhlapevanja uporabljale prevodni keramični material, sintetiziran z borovim nitridom z daljšo življenjsko dobo. Po japonskem patentnem poročilu lahko uporabi material, sestavljen iz 20 do 30 odstotkov borovega nitrida in ognjevzdržnega materiala, ki ga je mogoče spojiti z njim, da naredi vir izhlapevanja (lonček), njegovo površino pa prevleče s plastjo Vsebuje 62 odstotkov do 82 odstotkov cirkonija, ostalo pa je material iz zlitine cirkonija in silicija.

www.superbheater.com