Načelo delovanja stroja za vakuumsko galvanizacijo stroja za ionsko prevleko

Načelo delovanja stroja za vakuumsko galvanizacijo stroja za ionsko prevleko

Nenehne raziskave in razvoj tehnologije nenehno izboljšujejo raven proizvodnega procesa v industriji. V primerjavi z neozdravljivimi boleznimi v preteklosti so bile sčasoma postopoma rešene. Hkrati se vedno več izdelkov razvija in rodi na podlagi znanstvenega in tehnološkega napredka, saj se potrebe ljudi povečujejo. In danes bomo govorili o stroju za ionsko nanašanje.

Načelo stroja za ionsko prevleko je dejansko uporaba plinske razelektritve ali delne ionizacije uparjenega materiala v vakuumski komori in odlaganje uparjenega materiala ali reaktanta na podlago, medtem ko so plinski ioni ali delci uparjenega materiala bombardirani. Ioniranje organsko združuje pojav žarilne razelektritve, plazemsko tehnologijo in vakuumsko izhlapevanje, kar ne samo bistveno izboljša kakovost filma, ampak tudi razširi obseg uporabe tankih filmov. Njegove prednosti so močan oprijem filma, dobra difrakcija in široka paleta filmskih materialov. DM je prvič predlagal princip ionske prevleke. Delovni proces je sledeč: najprej načrpajte vakuumsko komoro do stopnje vakuuma nad 4 × 10 (-3) Pa, nato vklopite visokonapetostno napajanje in vzpostavite nizkotlačno plinsko razelektritev med izhlapevanjem vir in substrat. nizkotemperaturna plazma. Substratna elektroda je priključena na 5KV enosmerno negativno visoko napetost, da se oblikuje žareča katoda. Ioni inertnega plina, ki nastanejo v območju žarilne razelektritve, vstopijo v temno območje katode in jih električno polje pospeši ter bombardira površino podlage, da jo očisti. Nato vstopi v postopek nanašanja prevleke, pri čemer se segreje, da upari material prevleke, atomi pa vstopijo v območje plazme, trčijo z ioni in elektroni inertnega plina in majhen del se ionizira. Ionizirani ioni in plinski ioni bombardirajo površino prevleke z večjo energijo, kar ima za posledico izboljšano kakovost filma.

www.superbheater.com