| Polprevodniška industrija|Natančen nadzor temperature in vlažnosti: temelj procesnega inženirstva, rešitve za nadzor temperature za polprevodniško procesno opremo!

Sep 04, 2026

Pustite sporočilo

Nihanje izkoristka litografije?

Nezadostna enakomernost razvoja?

Odstopanja od natančnosti osvetlitve?

Visok{0}}natančen nadzor temperature in vlažnosti THC

je ključ!

Ker se zahteve za nadzor temperature opreme za proizvodnjo polprevodnikov povečujejo, ORION izkorišča svoje strokovno znanje in bogate izkušnje za zagotavljanje visoko{0}}natančnih rešitev THC strankam po vsem svetu.

ORION je že vrsto let zavezan raziskavam, razvoju in proizvodnji visoko{0}}kakovostne opreme za nadzor temperature, ki služi številnim industrijam, s posebno močno prisotnostjo na področju opreme za proizvodnjo polprevodnikov. Tokrat lansirajo izdelke za nadzor temperature tekočine in plina za proizvodne procese polprevodnikov, ki vsebujejo-brez fluora, miniaturizirane in visoko{3}}natančne lastnosti.

Značilnosti linearne tokovne regulacije Peltierjevih elementov

Z uporabo linearne tokovne kontrole Peltierjevih elementov dosežemo varčevanje z energijo, natančnost in vzdržljivost.

Lastnosti izdelka ORION

Do 60 % prihranek energije v primerjavi s trenutnim VKLOP-IZKLOPOM

Večja natančnost krmiljenja v primerjavi s trenutnim VKLOP-IZKLOPOM

Podaljšana življenjska doba Peltierjevih elementov zaradi zmanjšane temperature in električnega stresa (nihanja)

Uporablja Peltierjeve -odporne elemente (kemični Peltierjevi elementi)

Funkcija prikaza (prikaz tokovnega izhoda Peltierjevega elementa) pomaga optimizirati nastavitve PID in s tem podaljša življenjsko dobo Peltierjevih elementov (kemični Peltier).

V primerjavi z delovanjem VKLOP-IZKLOP se ta naprava ponaša z daljšo življenjsko dobo.

01 ETN·ETDM serija preciznih regulatorjev temperature za kemične raztopine

- Vrsta Peltier -

[Slika]
Natančnost nadzora temperature: ±0,1 stopinje

Območje nadzora temperature: 5 ~ 60 stopinj

Hladilna zmogljivost: 250~950 W

Zmogljivost ogrevanja: 500~2000 W

Nadzorovane tekočine: kemične raztopine in ultra čista voda

Primeri uporabe: oprema za čiščenje (jedkanje, čiščenje rezin, čiščenje CMP)

Zaradi uporabe polnega teflonskega izmenjevalnika toplote v območju stika s tekočino je mogoče neposredno nadzorovati temperaturo kemične raztopine. Za podrobnejše informacije se obrnite na prodajno mesto.

Cevni izmenjevalnik toplote

Ploščni izmenjevalnik toplote

Visoko-precizni krmilnik temperature tekočine serije ETU

- Vrsta Peltier -

Slika
Natančnost nadzora temperature: ±0,03 stopinje

Območje nadzora temperature: 10 ~ 60 stopinj

Hladilna zmogljivost: 200~1400 W

Zmogljivost ogrevanja: 400~2000 W

Nadzorovana tekočina: čista voda, čista voda, vodna raztopina etilenglikola

Primeri uporabe: nadzor temperature za stroje za nanašanje in razvijanje, oprema za elektronsko litografijo, oprema za osvetljevanje in nadzor temperature na ploščadi za postavitev.

Prilagajanje:

① Visok{0}}natančen nadzor ±0,01 stopinje

② Nadzor temperature tekočine,-ki vsebuje fluor

Za podrobnejše informacije se obrnite na prodajno mesto.

Natančni regulator temperature za stisnjen zrak serije ACU

- Vrsta Peltier -

Natančnost nadzora temperature: ±0,01 stopinj

Območje nadzora temperature: 15~40 stopinj (ACU2000B)

Pretok: 30~2100 L/min

Nadzorovana tekočina: stisnjen zrak

Primeri uporabe: Stroji za osvetljevanje, oprema za elektronsko litografijo itd.

Regulator temperature prezračevanja serije APE