Verjetnost nanosa Al filma na podlago vakuumskega premaznika je enaka

Verjetnost nanosa Al filma na podlago vakuumskega premaznika je enaka

Uporablja se izhlapevanje z elektronskim žarkom vakuumskega premaznega stroja, planetni mehanizem se enakomerno vrti pri nanosu filma in verjetnost vsakega substrata pri nanosu Al filma je enaka; fokus planetarnega mehanizma je na viru izhlapevanja v lončku, hitrost nanašanja vsakega substrata pa je pod določeno stopnjo vakuuma. skoraj enako. Z uporabo metode magnetronskega napršenega premazovanja stroja za vakuumsko nanašanje, saj je mogoče nadzorovati tok nanašanja in ciljno napetost, to pomeni, da je moč razprševanja mogoče prilagoditi in nadzorovati, sposobnost nadzora in ponovljivost debeline filma sta dobri in se lahko uporablja na večje površine. Dobili smo film enakomerne debeline.

Debelina Al folije stroja za vakuumsko nanašanje bo neposredno vplivala na druge lastnosti Al folije

Zelo pomembno je, da strogo nadzorujete debelino Al filma, saj bo debelina Al filma neposredno vplivala na druge lastnosti Al filma in s tem vplivala na zanesljivost polprevodniške naprave. Pri napajalni cevi z visokim protitlakom je delovna napetost visoka in tok velik. Brez določene debeline kovinskega filma bo gostota toka na Al filmu na enoto površine previsoka, kar je enostavno zažgati. Pri splošnih polprevodniških napravah, če je plast Al pretanka, je kontinuiteta filma slaba in ima otoško ali mrežasto strukturo, ki otežuje povezovanje vodnikov, zaradi česar je povezava težavna ali šibka, kar vpliva na donos; plast Al Če je predebela, vzorca med fotolitografijo ni mogoče jasno videti, kar oteži korozijo in je nagnjeno k koroziji robov in pojavu "povezave".

www.superbheater.com