Stroj za vakuumsko premazovanje uporablja visokofrekvenčno napajanje, v zanko pa je dodan močan kondenzator.
Pustite sporočilo
Stroj za vakuumsko premazovanje uporablja visokofrekvenčno napajanje, v zanko pa je dodan močan kondenzator.
Za rešitev tega problema je bilo izumljeno magnetronsko reaktivno razprševanje. To pomeni uporabo kovinske tarče, dodajanje argona in reaktivnega plina, kot sta dušik ali kisik. Ko kovinska tarča zadene del, se združi z reaktivnim plinom in tvori nitride ali okside zaradi pretvorbe energije.
Enostavno je razpršiti kovine in zlitine z magnetronskimi ciljnimi viri, vžig in razprševanje pa sta priročna. To je zato, ker lahko tarča (katoda), plazma in vakuumska komora napršenega dela tvorijo vezje. Če pa napršimo izolatorje, kot je keramika, se vezje prekine. Zato ljudje uporabljajo visokofrekvenčno napajanje in v zanko dodajo močan kondenzator. Na ta način ciljni material postane kondenzator v izolacijskem vezju.
Da bi povečali stopnjo izkoriščenosti ciljnega materiala, lahko stroj za vakuumsko nanašanje uporablja vrtljivo magnetno polje
Interakcija med magnetnim poljem in elektroni se uporablja za to, da elektroni tečejo v spiralni obliki blizu ciljne površine, s čimer se poveča verjetnost, da elektroni zadenejo plin argon in ustvarijo ione. Ustvarjeni ioni zadenejo tarčno površino pod delovanjem električnega polja in razpršijo tarčo. V razvoju zadnjih desetletij so bili postopoma sprejeti trajni magneti, tuljavni magneti pa se redko uporabljajo. Ne glede na ravnovesje ali neuravnoteženost, če magnet miruje, njegove značilnosti magnetnega polja določajo, da je splošna ciljna stopnja izkoriščenosti manjša od 30 odstotkov. Da bi povečali stopnjo izkoriščenosti ciljnega materiala, lahko uporabimo rotacijsko magnetno polje. Toda vrtenje magnetnega polja zahteva vrtljivi mehanizem, hkrati pa se zmanjša hitrost razprševanja.
www.superbheater.com
