Vakuumska galvanizacija, štiripolno naprševanje električne grelne cevi
Pustite sporočilo
Vakuumska galvanizacija, štiripolno naprševanje električne grelne cevi
Na podlagi tripolnega razprševanja je izven komore za nanos pritrjena tuljava za zbiranje, imenovana tudi pomožna anoda ali stabilizacijska elektroda. Funkcija združevalne tuljave je zbiranje elektronov med ciljno katodo in substratno anodo, pri čemer nastane nizkonapetostni visokotokovni stolpec plazemskega obloka, veliko število elektronov trči v plin za ionizacijo in velika nastane število ionov. Elektroni se gibljejo spiralno, kar poveča razdaljo elektronov do zbiralnika elektronov, s čimer se poveča verjetnost trkovne ionizacije, gostota toka pa doseže 2-5mA/cm2. Poleg tega ima kondenzatorska tuljava tudi funkcijo stabilizacije razelektritve.
Ta metoda razprševanja še vedno ne more preprečiti bombardiranja podlage s hitrimi elektroni, ki jih ustvari tarča, in ima tudi težave, kot je kontaminacija filma zaradi nečistoč v filamentu.
Vakuumsko galvaniziranje električne grelne cevi tripolno naprševanje
Tripolno razprševanje je pritrditev elektrode, vroče katode, na napravo za dvopolno razprševanje, ki oddaja termionske elektrone. Ne samo da lahko izboljša hitrost razprševanja, ampak tudi naredi bolj udoben nadzor nad pogoji razprševanja. Gostota toka se poveča na 1-3mA/cm2, ciljna napetost pa se zmanjša na 1-2kv. Vroča katoda 0-50v negativno prednapetost. Na ta način se poveča hitrost naprševanja in izboljša kakovost prevleke zaradi povečanega vakuuma nanašanja.
Slabosti diodnega razprševanja za vakuumsko galvansko obdelavo električnih grelnih cevi
Diodno razprševanje je ena najzgodnejših metod razprševanja. Uporablja prevlečni material kot katodo in prevlečeni material kot anodo. Katoda je priključena na enosmerno negativno visoko napetost 1-3KV, anoda pa je običajno ozemljena. Pri delu najprej vakuumirajte in nato prepustite plin argon, da vakuumska komora doseže tlak razprševanja. Ko je napajanje vklopljeno, negativna visoka napetost na katodni tarči ustvari žarečo razelektritev med obema poloma in vzpostavi plazemsko območje, v katerem se pozitivno nabiti ioni argona pospešeno bombardirajo katodno tarčo pod delovanjem katodnega potenciala. padec blizu katode, tako da se površina tarčnega materiala pospeši. Razprši se in nanese na površino substrata v molekularnem ali atomskem stanju, da se tvori tanek film ciljnega materiala.
Največja prednost te naprave je njena preprosta struktura in priročno upravljanje. Slabosti so: film se razmaže zaradi visokega delovnega tlaka; stopnja nanašanja je nizka in debelega filma nad 10 um ni mogoče prekriti; temperatura podlage je previsoka zaradi neposrednega obstreljevanja podlage z velikim številom sekundarnih elektronov.
www.superbheater.com
